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产品名称:多弧离子镀膜设备,中环真空设备
产品编号:2
产品分类:镀膜设备
发布日期:2015-10-24

 

        肇庆中环真空设备有限公司_多弧离子镀膜设备应用范围:主要用于镀制多种金属,也可以镀多层膜、合金膜及化学物膜,如镀超硬耐磨损膜、防腐蚀膜、装饰膜(金、银、黑、红、蓝、绿等颜色),结合磁控溅射技术可镀制多层复合膜。

镀膜设备结构特点:

        1、采用脉冲技术,使沉积粒子细化,膜的性能提高,且具有沉积速度快、离子能力大等特点;

        2、配备柱状阴极点弧源和磁控溅射源,适合范围广;

        3、新型靶源结构,有效提高离化率和膜层均匀性;

        4、所镀膜层具有硬度高,膜层与基底结合强度好,耐酸、碱、盐的能力强的特点。

多弧离子镀膜设备主要技术参数

项目

型号

镀膜室尺寸(mm)

极限压力(pa)

最大工件回转直径(mm)

 

抽气时间(min)
(大气到2×10-2 Pa) 

镀膜方式

加热方式

典型工作周期(min)
 

总功率(kw)
 

TG-600

 

Φ660×800

 

≤ 3×10-3

 

Φ120×550(6)

 

≤ 15

电弧+溅射

烘烤

40~60

64

TG-700

 

700×700×700

 

≤ 3×10-3

 

Φ120×450(6)

         

 

 

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