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产品名称:蒸发/磁控镀膜设备_中环真空设备
产品编号:1
产品分类:镀膜设备
发布日期:2015-10-24

 

        中环真空设备:蒸发/磁控镀膜设备产品介绍:
        应用范围主要用于在塑料、陶瓷、金属等材质部门镀制金属膜、仿金膜等,更换不同的靶材,可得到不同的膜系,如超硬、耐磨、防腐的合金磨等。
        结构特点:

        1、同时配备先进的圆柱磁控溅射装置和高效的电阻加热蒸发装置,将磁控溅射技术和加热蒸发技术的有效结合,使设备的适用范围更广,可得到多种不同性能的膜层;

        2、独特的双门(室)结构,使工件及镀料的装卸与镀膜可同时进行,大大提高工作效率。


                                                蒸发/磁控
镀膜设备主要技术参数:

项目

型号

镀膜室尺寸
(mm)

极限压力
(Pa)

最大工件回转直径
(mm)

抽气时间(min)
(大气到2×10-2 Pa)

镀膜方式

加热方式

典型工作周期(min)

总功率(kw)

JT-S1500

Φ1500×1900

≤ 5×10-3

Φ400×1650(6)

≤ 8

溅射+蒸发

烘烤

10~25

172

JT-S1600

Φ1600×1900

≤ 5×10-3

Φ505×1650(6)

≤ 8

溅射+蒸发

烘烤

10~25

172

JT-S1800

Φ1800×1900

≤ 5×10-3

Φ560×1650(6)

≤ 8

溅射+蒸发

烘烤

10~25

172

JT-S2000

Φ2000×2150

≤ 5×10-3

Φ640×1750(6)

≤ 8

溅射+蒸发

烘烤

10~25

192

控制柜:

 

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